 
Ralf Thomann
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Wenn der Elektronenstrahl auf die Probe trifft kommt es zur Wechselwirkung. Einige der Elektronen werden ohne Energieverlust gestreut, andere schlagen Elektronen aus der Hülle der Probenatome und verlieren dabei eine bestimmte Energiemenge. Die verlorene Energiemenge ist spezifisch für die Atome mit denen die Wechselwirkung stattfand. Es ergibt sich ein charakteristisches Spektrum mit abfallender Energie auf dem die Elementpeaks sitzen. Mit Hilfe der Spaltblende können bestimmte Bereiche aus diesem Spektum ausgewählt und so elementspezifische Bilder erstellt werden. Umgekehrt können mit der Spaltblende auch alle Elektronen ausgeblendet werden die einen
Energieverlust erlitten haben. Dadurch wird eine Kontrastverbesserung erreicht.
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links in der Graphik: elastische Streuung:
kein Energieverlust der Elektronen ( Anwendung z.B. Dunkelfeldabbildung) mitte in der Graphik : Strukturanalyse mit elastisch gestreuten Elektronen rechts in der Graphik: inelastische Streung: elementspezifischer Energieverlust : Elementanalyse  mitte in der Graphik : Ausblenden der inelastisch gestreuten Elektronen : Kontrastverbesserung rechts in der Graphik: Abbildung der inelastisch gestreuten Elektronen : selektiver Kontrast / elementspezifische Abbildung, ESI  |
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