 
Ralf Thomann |
||
|---|---|---|
-Elementanalyse - |
||
|
Der Elektronenstrahl trifft mit einer Energie von 120 keV auf die Probe. Durch Wechselwirkung zwischen Elektronen und Probe werden Röntgenstrahlen freigesetzt. Tritt die Röntgenstrahlung in den Si-Detektor werden Elektronen-Loch Paare erzeugt. Durch die
angelegte starke Spannung werden Elektronen und Löcher voneinander getrennt. Der dadurch erzeugte Spannungsimpuls hängt von der Energie der Röntgenstrahlung da. Da unterschiedliche Elemente Röntgenstrahlung unterschiedlicher Energie erzeugen, kann so ein
Spektrum aufgenommen werden in dem die einzelnen Elemente in Form von Peaks erscheinen deren Intensität mit dem Elementanteil korreliert ist. Analysiert man eine Probe Punkt für Punkt läßt sich ein Elementverteilungsbild erstellen.
|
||
 |
Bei der EDX-Analyse werden die Röntgenstrahlen detektiert, die bei der Wechselwirkung zwischen Elektronen und Probe freigesetzt werden. Die elementspezifischen Banden werden zur Elementanalyse verwandt. |
|
 |
Beispiel eines EDX-Spektrums. Durch Auswahl bestimmter Banden können auch Elementverteilungsbilder erstellt werden. Hierzu wird Bildpunkt für Bildpunkt die Intensität der Röntgenstrahlung einer bestimmten Wellenlänge detektiert.
|
|
